大部分的質量流量計，流量控制器的耐壓程度在3Mpa或10Mpa左右，但是在一些應用中需要更高的壓力，例如一些高壓縮氣體，高反應釜。。。經過我們多年的經驗及開發測試，目前，氣體質量流量計、流量控制器可以做到40~60Mpa的高耐壓性能。具體參數如下：

量程范圍：2SCCM～100SLM

測控范圍：控制器閥控范圍50:1（流量計量程比100:1） 

準確度： ±0.5%F.S（滿量程）

線性： ±0.25%F.S

重復精度： ±0.2%F.S

響應時間： <0.2s <0.1s

溫度系數： ±0.025%F.S/℃

工作溫度： 0～50℃

預熱時間： 30S可用，5Min達到最佳狀態

工作壓力： 工作壓差：0.1~0.5Mpa(高壓差可定制） 工作壓降：<0.01Mpa

最大耐壓： 20MPa~60Mpa

漏率：1 x 10 Pa m3/S

底座材質：不銹鋼

接頭： φ8，φ10，φ12，卡套或法蘭安裝

密封材質： 氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，金屬密封

外殼防護等級： IP40

安裝位置： 水平安裝

電氣連接： DB9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插

顯示狀態： 帶液晶顯示、不帶液晶顯示

數字量： RS232/485，MODBUS協議，PROFIBUS協議

模擬量： 0～5V、4-20mA、1～5V

供電： 24VDC、±15VDC